Preparation and Characteristics of Nanoscale Diamond-Like Carbon Films for Resistive Memory Applications

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• 来源
  《中国物理快报：英文版》 |2010年第9期|225-228|共4页
• 作者

  富迪; 谢丹; 张晨辉; 张笛; 牛洁斌; 钱鹤; 刘理天;

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• 作者单位

  institute of Microelectronics;

  Tsinghua University;

  Beijing 100084;

  Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology;

  Beijing 100084;

  State Key Laboratory of Tribology;

  Tsinghua University;

  Beijing 100084;

  Institute of Microelectronics;

  Chinese Academy of Sciences;

  Belting 100029;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  类金刚石薄膜; 薄膜制备; 电阻式; 应用; 记忆体; 过滤阴极真空电弧; 非易失性存储器; 类金刚石碳;