Improved Surface Characteristics and Contact Performance of Epitaxial p-AlGaN by a Chemical Treatment Process

著录项

• 来源
  《中国物理快报：英文版》 |2006年第2期|432-435|共4页
• 作者

  邵嘉平; 韩彦军; 汪莱; 江洋; 席光义; 李洪涛; 赵维; 罗毅;

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• 作者单位

  State Key Laboratory of Integrated Optoelectronics;

  Department of Electronic Engineering;

  Tsinghua University;

  Beijing 100084;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 表面物理学;
• 关键词

  改良表面性状; 接触性能; p-AlGaN外延性; 处理过程; 表面物理学;