Thermoelastic Stress Field Investigation of GaN Material for Laser Lift-off  Technique based on Finite Element Method

王婷; 崔占忠; 徐立新

首页> 中文期刊> 《中国物理快报：英文版》 >Thermoelastic Stress Field Investigation of GaN Material for Laser Lift-off Technique based on Finite Element Method

Thermoelastic Stress Field Investigation of GaN Material for Laser Lift-off Technique based on Finite Element Method

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

短暂 thermoelastic 压力地轧了电影被有限元素方法为激光起飞(LLO ) 分析技术。压力分布在轧了电影作为时间的功能与不同精力密度由脉搏激光照耀，深度被模仿。结果证明高 thermoelastic 强调分布在轧了电影在 GaN/Al 2 用合适的激光参数的 O 3 接口。轧了电影，这也被发现因为，能避免热变丑最大的 thermoelastic 强调 4.28 GPa 比收益力量小得多轧了 15GPa。激光横梁尺寸的效果和厚度在压力分发上轧了电影也被分析。是的激光横梁尺寸的变化范围厚度的功能轧了电影被模仿保留没有热变丑轧了电影。LLO 实验也被执行。基于陷阱的轻射出的二极管(LEDs ) 用从模拟获得的参数与蓝宝石底层被分开。与在 LLO 前的设备相比， P 我在 LLO 以后的基于陷阱的 LEDs 的 V 大小证明电、光的特征极大地改善，显示没有压力损坏被带到用计算在 LLO 期间获得的合适的参数轧了电影。

著录项

来源
《中国物理快报：英文版》 |2009年第9期|177-180|共4页
作者
王婷; 崔占忠; 徐立新;
展开▼
作者单位

School of Mechatronical Engineering;

Beijing Institute of Technology;

Beijing 100081;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光技术、微波激射技术;偏微分方程的数值解法;
关键词
有限元方法; 激光技术; 氮化镓材料; 弹性应力场; 关闭; 电梯; GaN薄膜; 弹性应力分布;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

Thermoelastic Stress Field Investigation of GaN Material for Laser Lift-off Technique based on Finite Element Method

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅