Optimized Optomechanical Micro-Cantilever Array for Uncooled Infrared Imaging

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• 来源
  《中国物理快报：英文版》 |2007年第12期|3362-3364|共3页
• 作者

  董凤良; 张青川; 陈大鹏; 缪正宇; 熊志铭; 郭哲颖; 李超波; 焦斌斌; 伍小平;

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• 作者单位

  Key Laboratory of Mechanical Behavior and Design of Materials;

  University of Science and Technology of China;

  Hefei 230027;

  Microelectronics R@D Center;

  Chinese Academy of Sciences;

  Beijing 100029;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 红外技术及仪器;
• 关键词

  红外线成像; 光学机械装置; 优化; 微悬臂;