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张春梅; 郑艳彬; 姜志刚; 吕宪义; 侯雪; 胡双; 刘军伟;
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等离子体化学气相沉积法; 直流热阴极; 金刚石薄膜; 薄膜制备; 二氧化碳; CO2流量; 扫描电镜观察; 晶粒取向;
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