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徐轶君; 叶超; 黄晓江; 袁静; 邢振宇; 宁兆元;
School;
of;
Physics;
Science;
and;
Technology;
Jiangsu;
Key;
Laboratory;
Thin;
Films;
Soochow;
University;
Suzhou;
215006;
CHF3; 等离子体; 光学发射光谱; 光学应用;
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