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电子工业用超纯水设备技术及应用

         

摘要

超纯水是应用去离子化、反渗透技术、离子交换等技术生产出来的水.针对集成电路生产用水水质要求高的现状,设计开发了超纯水系统,设计采用Make up system+Polisher system组合工艺,制备电阻率>18 MΩ·cm;DO<5 ppb;Particle<1 pcs/ml;Silica<1.5 ppb;TOC<1.5 ppb的超纯水.

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