微透镜压模阵列一步制造法

YongqlFu; 李浏

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介绍制造微透镜压模阵列的新方法，采用聚焦离子束蚀刻（FIBM）将压模阵列制作在一块Si片上，用激光干涉仪测量所制造压模的2－D轮廓和表面粗糙度，最后用压模阵列进行热压花模压，压模和复制件的表面粗糙度分别为2.5nm和8nm。表面粗糙度定义为距粗糙度轮廓中线绝对距离的算术平均值。复制件轮廓能满足实际应用。所测的复制件尺寸与所设计阵列的尺寸相当一致。

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来源
《云光技术》 |2002年第6期|34-36|共3页
作者
YongqlFu; 李浏;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光学仪器;
关键词
微透镜压模阵列; 聚焦离子束蚀刻; 热压花; 模压;

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