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郝亚明;
中国煤炭科工集团太原研究院有限公司 山西太原030006;
伺服驱动系统; 伺服动刚度; 控制系统参数;
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机译:用于操作投影曝光设备的方法,涉及相对于不可校正的膨胀系数对图像像差的影响,消除校正后的膨胀系数对物体像差的影响。
机译:具有手动超驰影响伺服回路增益的电动伺服系统
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