SG滤波在朗缪尔探针信号处理中的应用

桑庆双; 程健

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cqvip:利用朗缪尔探针检测射频耦合等离子体特性参数时,测得的伏安特性曲线会受电磁干扰而产生畸变,从而影响等离子体参数的计算和特性分析。为此,利用Savitzky-Golay(SG)滤波算法对伏安特性曲线进行分段滤波,给出平滑效果较好的特性参数。实验结果表明,SG算法对原始信号特征改变较少,求出的电子能量概率函数准确度较高。

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来源
《计算机工程》 |2011年第17期|P.220-222226|共4页
作者
桑庆双; 程健;
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作者单位

中国科学技术大学自动化系合肥230027;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类数字信号处理;
关键词
朗缪尔探针; 等离子体; 伏安特性曲线; SG滤波; 电子能量概率函数;

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