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美国联邦标准(FS)209D简介

         

摘要

本文从洁净室和洁净区的空气洁净标准级别、空气洁净级别的鉴定和洁净度的监测方法等方面,对美国联邦标准(FS)209D作了扼要介绍,并将该标准与FS209B作了对比,最后指出了该标准存在的问题。

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