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机译:飞秒激光微加工系统中用于运动补偿的晶圆表面重建和表征。
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机译:通过机器测量温度测量的加工中心热位移补偿方法。第二次报告。使用NC控制器销售的自动补偿。
机译:半导体测量技术:用于半导体晶圆诊断的自动扫描低能电子探针(asLEEp)。
机译:通过参考方法测量缸套表面圆度的圆度轮廓的装置
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