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马建; 魏义佳;
武汉建工集团股份有限公司;
钢结构; 安装工程; 网架; 顶升; 施工技术;
机译:通过层逐层沉积的SiC对SiC的AlN外延,原位原子层退火
机译:通过逐层低温原子层沉积,原位原子层退火在SiC上进行AlN外延
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