AlN薄膜异质结构声波激发特性研究

齐梦珂; 李孟辉; 程一民; 潘虹芝; 曹亮; 牟笑静

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该文分别开发了两种基于AlN压电材料和原子数分数为10%的Sc掺杂AlN压电材料的薄膜叠层异质谐振器。通过有限元仿真和实验对比分析了器件的频率温度性能和Sc掺杂对谐振器声激励的影响。结果表明,Sc掺杂可能会影响压电薄膜叠层谐振器所激励声波的谐振频率、机电耦合系数和对应的频率温度系数(TCF),且对所激励声波的正反谐振点的TCF影响不同。此研究在传感及滤波器件领域极具应用潜力。

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来源
《压电与声光》 |2022年第5期|709-712|共4页
作者
齐梦珂; 李孟辉; 程一民; 潘虹芝; 曹亮; 牟笑静;
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作者单位

重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;

中国电子科技集团公司第二十六研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类铁电及压电器件;滤波技术、滤波器;
关键词
谐振器; 声波激励; 氮化铝钪; 温度稳定性; 机电耦合系数;

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