基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究

苗湘; 闫坤坤; 黄歆; 姜靖雯; 黄小东; 王文

首页> 中文期刊> 《压电与声光》 >基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究

基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入损耗为-1.2 dB,1 dB带宽为74 MHz,相对带宽达到5.4%,阻带抑制大于40 dB,且温度系数在-55~+85℃时优于-9×10^(-6)/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点,其性能指标优异,具有很好的实用性。

著录项

来源
《压电与声光》 |2022年第5期|718-721|共4页
作者
苗湘; 闫坤坤; 黄歆; 姜靖雯; 黄小东; 王文;
展开▼
作者单位

北京中科飞鸿科技股份有限公司;

中国科学院声学研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类声光器件;滤波技术、滤波器;
关键词
SOI衬底; 大带宽; 横向模式; 谐振器; 声表面波滤波器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究 [J] . 毛世平 ,曾庆高 ,陈彦光 . 压电与声光 . 2018,第3期
2. 利用锥型换能器的宽带低损耗声表面波滤波器设计 [J] . 秦廷辉 ,黄广伦 ,曹亮 . 应用声学 . 2000,第004期
3. 宽带低损耗声表面波滤波器 [J] . 曹亮 ,黄广伦 ,秦廷辉 . 压电与声光 . 2000,第4期
4. 高频宽带低损耗声表面波滤波器 [J] . 李志云 ,黄广伦 ,杨毅生 . 压电与声光 . 1999,第1期
5. 一种宽带低损耗声表面波滤波器 [J] . 秦廷辉 ,朱自湘 ,周平 . 压电与声光 . 1998,第2期
6. 高频宽带低损耗声表面波滤波器 [C] . 李志云 . 中国声学学会第二届青年学术会议 . 1997
7. 超宽带低损耗声表面波滤波器设计与实现 [A] . 丁毅 . 2012

基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅