单片集成式主振荡功率放大器研究进展

谭满清; 游道明; 郭文涛; 刘维华

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单片集成式主振荡功率放大器研究进展

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单片集成式主振荡功率放大器(MOPA)具有体积小、功率大、光束质量高等优势,通过集成布拉格光栅,还能够实现窄线宽和动态单模,在倍频、泵浦、光通信和传感等领域具有重要应用价值,是近年来半导体光电子器件的研究热点。本文梳理了单片集成式MOPA的主流结构,包括锥形、脊型、布拉格光栅型和三段式MOPA,以各自的工作原理和性能特征为出发点,介绍其主要的研究方向,并结合它们各自面临的问题介绍最新的发展趋势。针对单片集成式MOPA中普遍存在的高功率下光束质量退化的问题,梳理了近年在外延层结构、腔面光学薄膜和电极设置等方面的优化设计,重点总结了单片集成式MOPA在提高光束质量及高功率、容线宽及高亮度方面的重要进展。围绕不同领域的应用需求,整理了具备高功率、窄线宽、高光束质量和高亮度等性能特征的单片集成式MOPA的研究进展,最后展望了单片集成式MOPA的发展趋势。

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来源
《中国光学(中英文)》 |2023年第1期|61-75|共15页
作者
谭满清; 游道明; 郭文涛; 刘维华;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;

中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体激光器;
关键词
主振荡功率放大器; 单片集成结构; 半导体激光器; 半导体光放大器; 优化设计;

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