反应磁控溅射制备Ag/TiO_2复合薄膜及其银离子释放速率研究

熊剑; 方微; 何禄英

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反应磁控溅射制备Ag/TiO_2复合薄膜及其银离子释放速率研究

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采用反应磁控溅射法制备Ag/TiO_2复合薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜、X射线光电能谱和原子吸收光谱分析了不同实验参数对复合薄膜形貌和银离子溶解释放规律。研究结果表明随着氧气流量的加大,银纳米颗粒在薄膜体相和表面的团聚和不规则分布增加;表面缓冲层对银纳米颗粒的表面偏析现象和银离子释放速率的抑制作用有限;复合薄膜中银元素的含量则对薄膜形貌和银离子释放速率有较大影响,银含量越少,银离子释放速率越慢。综合性能分析认为在复合薄膜中银含量为9%时,银纳米颗粒在薄膜内的粒径分布较为均匀,银离子释放速率也最为缓慢。

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来源
《真空科学与技术学报》 |2017年第8期|830-835|共6页
作者
熊剑; 方微; 何禄英;
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作者单位

湖北工业大学太阳能高效利用湖北省协同创新中心;

武汉工程大学化工与制药学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属－非金属复合材料;
关键词
反应磁控溅射; Ag/TiO2复合薄膜; 氧气流量; 银离子释放速率;

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