切割角蓝宝石基氧化镓薄膜MOCVD外延及日盲紫外光电探测器制备

汪正鹏; 张崇德; 孙新雨; 胡天澄; 崔梅; 张贻俊; 巩贺贺; 任芳芳; 顾书林; 张荣; 叶建东

首页> 中文期刊> 《人工晶体学报》 >切割角蓝宝石基氧化镓薄膜MOCVD外延及日盲紫外光电探测器制备

切割角蓝宝石基氧化镓薄膜MOCVD外延及日盲紫外光电探测器制备

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文使用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法在不同切割角的c面蓝宝石衬底上外延氧化镓(β-Ga_(2)O_(3))单晶薄膜,揭示了衬底切割角对外延薄膜晶体质量的影响规律。研究表明,当衬底切割角为6°时,β-Ga_(2)O_(3)外延膜具有较小的X射线摇摆曲线半峰全宽(1.10°)和最小的表面粗糙度(7.7 nm)。在此基础上,采用光刻、显影、电子束蒸发及剥离工艺制备了金属-半导体-金属结构的日盲紫外光电探测器,器件的光暗电流比为6.2×10^(6),248 nm处的峰值响应度为87.12 A/W,比探测率为3.5×10^(15) Jones,带外抑制比为2.36×10^(4),响应时间为226.2μs。

著录项

来源
《人工晶体学报》 |2023年第6期|1007-1015|共9页
作者
汪正鹏; 张崇德; 孙新雨; 胡天澄; 崔梅; 张贻俊; 巩贺贺; 任芳芳; 顾书林; 张荣; 叶建东;
展开▼
作者单位

南京大学电子科学与工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体生长;薄膜物理学;半导体性质;
关键词
超宽禁带半导体; 氧化镓薄膜; 金属有机物化学气相沉积; 日盲紫外光电探测器; 切割角; 外延;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于MOCVD外延超薄氧化镓薄膜的高性能日盲和X射线探测器(特邀) [J] . 钟天晟 ,于舜杰 ,赵晓龙 . 光子学报 . 2021,第10期
2. 氧化镓微晶薄膜制备及其日盲深紫外探测器 [J] . 赖黎 ,莫慧兰 ,符思婕 . 发光学报 . 2020,第9期
3. m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究 [J] . 郑剑 ,张振中 ,张吉英 . 发光学报 . 2014,第6期
4. 基于铝纳米颗粒修饰的非晶氧化镓薄膜日盲紫外探测器 [J] . 况丹 ,徐爽 ,史大为 . 物理学报 . 2023,第3期
5. 具有大光电导增益的氧化镓薄膜基深紫外探测器阵列 [J] . 刘增 ,李磊 ,支钰崧 . 物理学报 . 2022,第20期
6. 蓝宝石基片预处理对氧化镓薄膜结晶质量及日盲紫外光敏特性的影响 [C] . 钱凌轩 ,侯爽 ,刘兴钊 . 第二届全国宽禁带半导体学术会议 . -1
7. 基于氧化镓薄膜的日盲紫外探测器和光电神经突触器件的制备与性能研究 [A] . 陈新荣 . 2021

切割角蓝宝石基氧化镓薄膜MOCVD外延及日盲紫外光电探测器制备

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅