台阶聚束AlN高温热退火形貌演化研究

著录项

• 来源
  《人工晶体学报》 |2023年第6期|1016-1024|共9页
• 作者

  聂子凯; 贲建伟; 张恩韬; 马晓宝; 张山丽; 石芝铭; 吕顺鹏; 蒋科; 孙晓娟; 黎大兵;

  展开▼
• 作者单位

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

  中国科学院大学;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 晶体生长;表面现象和表面性能;
• 关键词

  氮化铝; 表面形貌; 高温热退火; 台阶聚束; 斜切衬底; 热刻蚀;