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王野平; 周翰; 李翠娟;
同济大学机械工程学院;
圆锥模; 秸秆成型; 关键参数; 模型简化; 有限元;
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机译:虚拟半导体器件制造环境中关键参数识别,过程模型校准和可变性分析的系统和方法
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