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基于MEMS镍平面微弹簧尺寸误差分析

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摘要

对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对S型微弹簧的设计提出几点建议。

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来源
《机械设计》 |2012年第8期|80-82|共3页
作者
邵伟平; 张继桃; 郝永平; 渠元菊; 王威; 谷双喜;
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作者单位

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心;

国营第五二四厂;

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正文语种 chi
中图分类机械设计;
关键词
微机电系统; S型微弹簧; 弹性系数; 加工误差;

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