离子渗氮对TiN薄膜组织与性能的影响

著录项

• 来源
  《金属热处理》 |2015年第2期|140-143|共4页
• 作者

  冯军; 金凡亚; 童洪辉; 沈丽如; 但敏; 邓稚; 赖新春;

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• 作者单位

  核工业西南物理研究院;

  四川成都610041;

  南华大学;

  湖南衡阳421001;

  四川材料与工艺研究所;

  四川江油621700;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜技术;化学热处理;
• 关键词

  TiN薄膜; 离子渗氮; 硬度; 摩擦磨损;