IC制造作业调度及资源配置机制研究

胡尊刚; 严利人; 周卫; 刘志弘

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考察和分析了当前流行的IC作业调度的算法模式。在此基础上,将制造系统中的作业调度回归到本原意义上,即制造资源优化配置必须保证制造步骤得以实施,得出既处理待加工硅片,也处理加工设备的双资源调度路线。结合判决式实例(Benchmark),给出IC制造领域中静态地匹配单机加工能力和加工片量的设备配置优化算法,以及动态地调度制造资源以维持工厂流水线式并行生产的作业调度方案,使之在机器运行效率、在制品数量和制造周期压缩、生产批的流程制造可预定性等方面,均取得最优化的效果。

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来源
《微电子学》 |2010年第6期|893-898|共6页
作者
胡尊刚; 严利人; 周卫; 刘志弘;
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作者单位

清华大学信息科学与技术国家重点实验室(筹);

北京100084;

清华大学微电子学研究所;

北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺及设备;
关键词
IC制造; 作业调度; 资源配置;

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