1.6 GHz薄膜体声波谐振器研究

胡靖华; 孙晓冬; 张凯; 张小玲; 胡光; 顾豪爽

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1.6 GHz薄膜体声波谐振器研究

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AlN材料具有良好的压电特性和很高的声波速度,是制作性能优良薄膜体声波器件的首选材料之一。对氮化铝薄膜体声波谐振器原理进行了分析,探讨了氮化铝薄膜体声波谐振器的设计方法,在制备高c-轴取向氮化铝薄膜的基础上,通过上电极和氮化铝薄膜一次光刻两步刻蚀工艺方法制作了1.6 GHz氮化铝薄膜体声波谐振器,并探讨了谐振器的频率影响因素。

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来源
《武汉理工大学学报》 |2009年第13期|22-25|共4页
作者
胡靖华; 孙晓冬; 张凯; 张小玲; 胡光; 顾豪爽;
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作者单位

武汉理工大学理学院;

武汉430070;

湖北大学铁电压电材料重点实验室;

武汉430062;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类凝聚态物理学;
关键词
薄膜体声波谐振器; c-轴取向; 反应刻蚀;

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