一种面向碱金属气室的Si-Glass激光键合有限元仿真分析

王锦曦; 罗云霞; 郭京; 华尔天; 闫树斌

首页> 中文期刊> 《自动化与仪器仪表》 >一种面向碱金属气室的Si-Glass激光键合有限元仿真分析

一种面向碱金属气室的Si-Glass激光键合有限元仿真分析

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

随着MEMS封装元器件向着结构复杂化、功能多样化、器件微型化发展,在保持器件微结构形貌的基础上,对样本的键合强度有着更高的要求。采用有限元分析软件ANSYS V18.2对Si-Glass激光键合工艺进行了有限元分析法(Finite Element Method, FEM)仿真和工艺实现、试验研究、测试表征。以二维面的热源加载传热解析模型为理论基础,采用温度场仿真分析研究了20 W~48 W这个激光功率区间内激光键合的三维温度场分布,结合实验数据分析预测了阈值功率在28 W左右。对实验样品进行气密性测试,结果表明:激光键合样品气密性测试的平均泄漏率约为10.48×10^(-9) Pa·m3/s,符合GB/T 4937.22-2018中相关标准的规定。采用能谱分析(Energy Dispersive Spectroscopy, EDS)扫描Si-Glass激光键合的界面材料成分初步验证了Si-Glass激光键合技术具有选择性以及局部键合的优势,验证模型的正确性,且可应用于MEMS的其他工程材料的键合环节中。

著录项

来源
《自动化与仪器仪表》 |2021年第10期|203-208|共6页
作者
王锦曦; 罗云霞; 郭京; 华尔天; 闫树斌;
展开▼
作者单位

中北大学;

仪器与电子学院;

太原030051;

浙江水利水电学院;

电气工程学院;

杭州310018;

中北大学;

电气与控制工程学院;

太原030051;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计、性能分析与综合;
关键词
微机电系统; ANSYS软件; 有限元分析; 键合强度; 原子气室;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 激光键合的有限元仿真及工艺参数优化 [J] . 马子文 ,汤自荣 ,廖广兰 . 半导体学报：英文版 . 2007,第6期
2. 一种原子气室制备碱金属充制工艺设备的研制 [J] . 王华栋 ,高炳天 ,刘立美 . 真空科学与技术学报 . 2020,第11期
3. 基于光偏振旋转效应的碱金属气室原子极化率测量方法及影响因素分析 [J] . 尚慧宁 ,全伟 ,陈瑶 . 光谱学与光谱分析 . 2016,第2期
4. 基于AMESim仿真平台的双气室油气悬架的仿真分析 [C] . Li Yue ,李跃 ,Chen Si-kai . 2013年LMS中国用户大会 . 2013
5. 碱金属原子气室抗弛豫膜材料及镀膜技术的研究 [A] . 武美燕 . 2022

一种面向碱金属气室的Si-Glass激光键合有限元仿真分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅