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热处理对氧化钒薄膜成分和形貌的影响

         

摘要

二氧化钒薄膜特殊的可逆相变特性,决定其有着巨大的应用潜能,由于钒与氧结合可以形成几十种氧化物,因此制得严格化学配比的二氧化钒薄膜始终是一个难点,目前国际上制备此薄膜的方法虽多样化,但都不成熟,实验采用两步工艺,先用射频磁控溅射法制备高纯度的五氧化二钒薄膜,再在N2保护下进行后续热处理,得到二氧化钒含量较高的氧化钒薄膜,并对热处理前后薄膜的成分、形貌进行XRD,XPS,SEM,AFM分析,得出热处理对氧化钒薄膜的成分和形貌的影响。

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