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基于半桥型电感测头的微位移检测技术研究

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摘要

针对半桥型电感测头,设计了幅值稳定的正弦波激励信号产生单元和相应的输出信号处理电路;分析了影响测量精度的主要原因,设计了基于反馈原理的激励信号稳幅模块;通过标定实验,采用分段线性插值法进行数据处理,该电感测头在±1 mm的测量范围内,最大误差为1.2μm,线性度为0.06%,满足测量系统的要求。

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来源
《世界科技研究与发展》 |2015年第2期|115-117|共3页
作者
王晓飞; 苏智琨; 裘祖荣; 李杏华; 江尚良;
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作者单位

1. 江苏省计量科学研究院 2. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类位移测量仪表;
关键词
电感测头; 微位移测量; 正弦波产生; 正弦波稳幅; 非线性校正; 分段线性插值;

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