测试探针性能检测系统的设计与实现

汪俞成; 肖金球; 李盈; 焦文开; 谢翔

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测试探针性能检测系统的设计与实现

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为满足国内厂商对集成电路测试中测试探针出厂检测的要求，分析了测试探针需要检测的功能、参数和测试方法，利用压力传感器、温度传感器、激光位移传感器、电阻测量计、运动模块执行机构以及控制与数据采集模块，设计了一种以LabVIEW为核心的多功能测试探针性能检测系统，实现了对测试探针性能的自动测试。实验结果表明，所设计系统能够对测试探针进行有效的性能检测，测量误差小于±4%,测试时间比传统人工测量提高了5倍左右，检测系统性能稳定，显著提升了测试效率和测试精度。

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来源
《国外电子测量技术》 |2022年第10期|97-103|共7页
作者
汪俞成; 肖金球; 李盈; 焦文开; 谢翔;
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作者单位

1. 苏州科技大学物理科学与技术学院 2. 苏州市智能测控工程技术研究中心;

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正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
测试探针; 性能参数; LabVIEW; 测量测试;

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