＜正＞ TN15 2002032210DNA检测用光电管的研制=Research and fabricationof phototransistors for DNA analysis[刊,中]/李和太,孟丽囡（沈阳工业大学信息科学与工程学院.辽宁,沈阳（110023））,李慧芳（东北制药总厂计算中心.辽宁,沈阳（110026））//仪表技术与传感器.-2001,（10）.-31-32,35微电子技术已渗透到许多领域,集成纳米级DNA分析系统就是微电子技术与分析化学结合的产物。其中荧光检测器是由集成电路工艺制成的一列光电管组成。检测用荧光的波长为515nm,硅光电管对此波长的光响应比较小,为了提高光电管的响应灵敏度,用硼离子注入制成浅BC结。为了防止等离子体刻蚀损伤硅
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