制膜技术与装置

         

摘要

<正> O484.4 2002064342气流混合对生长 GaN:Si 膜性能影响的研究=Proper-ties dedendence of GaN:Si films on gas flow mix-ture[刊,中]/莫春兰,李鹏,王立,熊传兵,彭学新,辛勇,姚冬敏,李述体,江风益(南昌大学材料科学研究所.江西,南昌(330047))∥光学学报.—2002,22(2).—181-185用金属有机化学气相沉积技术在三种不同型号的反

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