LiNbO3薄膜光波导及其应用（一）

陈运祥

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LiNbO3薄膜光波导及其应用（一）

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本文对集成光学中制作平面光波导用的LiNbO3薄膜制备及其光参数的测量方法进行了介绍。RF二极管溅射沉积的LiNbO3单晶薄膜的寻常光及非寻常光折射率高达:n0=2.32±0.02;ne=2.18±0.04（He-Ne激光）。用LiNbO3膜可制作出光传输损耗不超过1dB/cm（He-Ne激光）的薄膜光波导。用外扩散LiNbO3平面光波导可制作出高效率、宽带的电光相位调制器。其调制率η与电压之比为0.13V-1,50Ω负载时最大带宽为3.2GHz。η=1rad时,每单位带宽的调制功率为0.19mW/MHz。另外,用内扩散工艺制作的Ti:LiNbO3光波导可制作出集成声光调制器。与块体型声光双稳态器件相比,其体积尺寸以及功耗要小得多。最后,对迄今为止获得的研究结果进行了简要的讨论分析。

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来源
《压电与声光》 |1988年第3期|36-43|共8页
作者
陈运祥;
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作者单位

四川压电与声光技术研究所;

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