光电成象技术及器件

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＜正＞ TN14 95031909光电激光硅靶的研制=Development of photo-electric laser silicon target[刊,中]/龚全宝,胡希杰（上海市能源研究所）∥上海半导体.—1994,（3）.—39-42从激光靶的结构与原理出发,叙述了硅靶的研制工艺与工艺过程中几个关键难点的解决措施,研制

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《中国光学(中英文)》 |1995年第3期|73-73|共1页
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正文语种 chi
中图分类激光的应用;
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