镀膜技术及设备

         

摘要

<正> TB43 97053309电致变色氧化镍薄膜的制备与性能=Preparationand properties of electrochromic nickel oxidefilms[刊,中]/张旭苹,陈国平(东南大学薄膜研究所.江苏,南京(210018))∥东南大学学报.—1996,26(3).—110—114用直流磁控反应溅射法淀积了氧化镍薄膜,研究了这种膜的淀积技术和电致变色特性,结果指出,该方法淀积的薄膜具有工艺参数易于控制,重复性好、所制薄膜致密及性能稳定优点。图6参3(严寒)TB43 97053310

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