制膜技术与装置

         

摘要

<正> N304.055 2000021189纳米硅薄膜研究进展=Research progress innanocrystalline silicon films[刊,中]/史国华,张溪文,杜丕一,韩高荣(浙江大学材料系.浙江,杭州(310027))//材料科学与工程.-1999,17(3).-47-50从制备技术、沉积机理、结构和性能各方面对纳米硅薄膜的研究进展情况作了回顾和论述,并对其发展前景作了展望。图1参28(李瑞琴)O484.1 2000021190溶胶-凝胶法制备电致变色薄膜及器件的研究=Preparation of amorphous tungsten trioxidethin film and electrochromic device by method

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