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摘要

<正> O43 96031403 微系统技术与微光学的发展=Development of microsystemtechniques and microoptics[刊,中]/杨国光(浙江大学高技术现代光学中心.浙江,杭州(310027))//光学仪器.—1995,17(4/5).—67阐述了微系统及微光学,包括新兴的二元光学的形成与发展,介绍了微系统的机理、发展及其核心的关键技术-激光光刻技术、激光蚀刻技术,三维光刻技术、热技术以及sol-gel技术等。(赵桂云)

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