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超微细加工及设备

         

摘要

<正> TN305 94032271用动态全积分法提高圆分度精度的研究=To de-velope the circle—graduation accuracy withthe dynamic perfect integration method[学,中]/叶大华;中科院光电技术研究所—48页.—1993.4论述了动态全积分方法的基本原理.分析比较了几种基本结构和信号处理方法的优缺点,对实现

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