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＜正＞ TN305 99032028用于准分子激光微细加工的高能量效率多重反射光学系统和装置的实验研究=Experimental study ofhigh efficiency multi-reflective systems and equipmentfor excimer laser ultra-microfabrication[刊,中]/向世清,楼祺洪,丁爱臻,魏运荣,董景

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《中国光学(中英文)》 |1999年第3期|90-92|共3页
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正文语种 chi
中图分类特种加工机床及其加工;
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