镀膜技术及设备

         

摘要

<正> O484.1 98053299高Tc超导薄膜和氧化物多层膜的激光分子束外延研究=Laser molecular beam epitaxial growth ofhigh Tc superconducting thin films and oxidemultilayers[刊,中]/王会生,马昆,彭志强(中科院物理所。北京(100080))∥电子显微学报。一1997,16(4).一463—466介绍用激光分子束外延(L—MBE)方法,在高真空条件下外延生长YBa2Cu3O7-8超导薄膜和BaTiO3

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