像差、像质评价

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＜正＞ O435.2 99063528光刻镜头像质测试方法=A testing method for im-age quality of photolithographic lens[刊,中]/周明宝,杜春雷,林大键,郭勇（中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室.四川,成都（610209））∥光电工程.—1998,25（1）.—39—44提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置

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《中国光学(中英文)》 |1999年第6期|5-5|共1页
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正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
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