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摘要

<正> TQ437 2001042953光致抗蚀剂衍射效率的研究=Study of diffractive efficiencyof photoresists[刊,中]/陈骏,雷磊,王维理,王金城(青岛海洋大学物理系.山东,青岛(266003))//激光技术.-2000,24(5).-333在理论分析的基础上对光致抗蚀剂感光版做了大量的实验研究,通过改变光照度、曝光时间、显影液浓度和显影时间,得到了拍摄该光致抗蚀剂浮雕全息干涉条纹所

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