镀膜技术及设备

         

摘要

<正> TB84.41 96010427四靶双离子束溅射仪制备软x光衍射色散元件=Fabrication of soft X—ray diffraction disper-sive element by a four—target double ionbeam sputtering apparatus[刊,中]/袁利祥,范正修(中科院上海光机所。上海(201800)),崔明启(中科院高能物理所。北京(100039)),沈孝良(复旦大学分

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