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汽相外延长波器件

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低廉而可靠的光电器件制作之要求是:高成品率、高产和整个晶片的均匀性。本文评述能以满足长波器件制作要求的外延技术,并着重举例讨论汽相外延。

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来源
《半导体光电》 |1985年第3期|29-35|共7页
作者
G.H.Olsen; 程泰平;
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