离子注入工艺的简化二维模拟

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机译：利用离子注入工艺特性来简化22nm器件

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机译：用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器，与数值模拟的比较和噪声机制的研究

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