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挠性石英加速度传感器伺服电路小型化研制

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本文简要介绍一种通用的加速度传感器和相应的利用硅工艺技术与混台集成电路技术研制出的一种小型化伺服电路.

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来源
《微电子学与计算机》 |1991年第11期||共页
作者
温灵生;
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作者单位

航空航天部骊山微电子学研究所陕西临潼;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
混合集成; 小型化;

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