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PECVD氮化硅在话筒专用管生产中的应用

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＜正＞ 1985年全国话筒专用晶体管质量评比中高温反偏试验几乎没有一个厂家合格.此后,我们经过大量试验份析,认为主要是钠离子沾污,可动钠离子（Na+）存在于SiO2与金属界面附近的陷阱中,在高温反偏电场的作用下向PN结表面附近集中,造成器件失效.为了减少钠离子沾污,在合金化以后,生长一层

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来源
《微电子学与计算机》 |1988年第12期|46-46|共1页
作者
邓秀原; 郭谨春;
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作者单位

河南省新乡市半导体厂;

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正文语种 chi
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