模具法加工方形石英反应管成功

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＜正＞由于半导体工艺的发展,提出了加工制造大型方形管道的迫切要求,但过去一直没有真正解决这个问题。在学习无产阶级专政理论的热潮中,我们乘推优会战的东风,用“两论”（矛盾论、实践论）为武器,运用优选法,经过多次试验,终于成功地制成了任意尺寸的方形石英管道,从而满足了工艺的要求。过去加工方形石英管道的办法是先将直径为100毫米的园形石英管切成环,再加热坦成平板,把石英板切磨好后,再烧焊成型。这种加工方法存在不少缺点:

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《微电子学与计算机》 |1977年第z1期|94-94|共1页
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771所车间玻璃组;

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