在双极电路中硼离子注入条件的选择

李国辉; 阎凤章; 吕贤淑; 苏绍义; 白兴元

首页> 中文期刊> 《微电子学与计算机》 >在双极电路中硼离子注入条件的选择

在双极电路中硼离子注入条件的选择

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

＜正＞一、引言在半导体器件生产中,经常用硼离子注入制作双极电路中晶体管的基区。本文主要论述怎样根据电路对基区要求的结深、方块电阻等参量来选择离子注入的能量、剂量及退火条件。通过实验证明:硼离子注入后,在900℃以上退火,可以使注入杂质有90—100%的电激活。当结深相同时,同一剂量的方块电阻相同。本文提供了结深、方块电阻与注入剂量的关系曲线,并且指出,硼注入层在氧化后由于硅和二

著录项

来源
《微电子学与计算机》 |1984年第6期||共页
作者
李国辉; 阎凤章; 吕贤淑; 苏绍义; 白兴元;
展开▼
作者单位

北京师范大学低能所;

北京师范大学低能所;

北京师范大学低能所;

中国科学院109厂;

中国科学院109厂;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 离子注入多晶Si浅结工艺在双极集成电路中的应用 [J] . 来永春 ,王大椿 ,张通和 . 北京师范大学学报：自然科学版 . 1986,第3期
2. 全离子注入在双极集成电路中的应用 [J] . . 北京师范大学学报：自然科学版 . 1978,第2期
3. 有射极电阻的基本电路中双极型晶体三极管工作状态的一种判断方法 [J] . 骆最芬 . 电子世界 . 2012,第19期
4. 联合应用肾上腺素和双极电凝与单独应用双极电凝治疗出血性消化性溃疡疗效比较:一项随机对照研究 [J] . BiancoM.A ,Rotondano G ,Marmo R . 世界核心医学期刊文摘：胃肠病学分册 . 2005,第8期
5. Si离子注入时半绝缘GaAs晶体中硼对其电活性的影响 [J] . 师庆华 . 发光快报 . 1995,第1期
6. 电励磁式双凸极电机两种电流控制方式下开关频率选择 [C] . 韦海荣 ,周波 ,孟小利 . 第七届中国电力电子与传动控制学术会议 . 2001
7. 选择性绿激光前列腺汽化术与经尿道前列腺双极等离子电切术治疗良性前列腺增生的疗效比较 [A] . 王健 . 2016

在双极电路中硼离子注入条件的选择

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅