关于光学图形发生器工作台的研究

黄印权

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＜正＞一、引言光学图形发生器是制作集成电路一次掩模版的重要设备。用这种设备制作中、大规模集成电路的一次掩模版,与用刻图、揭模、初缩的制作方法（即使是用水平较高的自动刻图机）相比较,由于后者多一道初缩工序,且其中的揭模只能靠人工,故前者无论在制版的质量还是节省人力和效率方面均有明显的优越性。光学图形发生器是用可见光（如e线）或紫外光（如h线）作图的,一般好的制板镜头

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来源
《微电子学与计算机》 |1982年第1期|40-43|共4页
作者
黄印权;
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作者单位

骊山微电子公司;

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