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铝的剥离工艺

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本文叙述了一种制备具有大的纵横比的微细铝线的剥离工艺.用此法所制得的铝线宽度最小约为2μm,最厚约为1μm.

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来源
《微电子学与计算机》 |1984年第5期||共页
作者
张礼德; 张伯虎; 秦建颖; 陈勇;
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作者单位

骊山微电子公司;

西北大学;

骊山微电子公司;

骊山微电子公司毕业实习生;

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