检查金属管壳气密性的方法

薄兰邵; 王占平

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＜正＞我们已经把无损氦质谱检漏方法用于金属管壳的气密性检查。实践证明,这种方法稳定性比较好,是可靠的。曾对管座和电路进行过大量的检漏,开始淘汰率比较高,经过努力,平均淘汰率降低到小于10%。但必须指出,由于烧结和环焊工艺不够稳定,密封性能是不稳定的。随着工作的开展,确定检漏标准、探讨粗检方法及提高封装气密性的途径已经提出来了。本文拟在这些方面谈些粗浅的看法。

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来源
《微电子学与计算机》 |1975年第2期|41-47|共7页
作者
薄兰邵; 王占平;
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